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Rapid thermal annealing of Sb2Te3 thin films grown via atomic layer deposition
Thin Solid Films ( IF 2.1 ) Pub Date : 2020-04-01 , DOI: 10.1016/j.tsf.2020.137922 Tommi Tynell , Kevin Geishendorf , Sabrina Piontek , Tim Komossa , Stephan Schulz , Kornelius Nielsch , Andy Thomas
中文翻译：
通过原子层沉积生长的 Sb2Te3 薄膜的快速热退火
更新日期：2020-04-01
Thin Solid Films ( IF 2.1 ) Pub Date : 2020-04-01 , DOI: 10.1016/j.tsf.2020.137922 Tommi Tynell , Kevin Geishendorf , Sabrina Piontek , Tim Komossa , Stephan Schulz , Kornelius Nielsch , Andy Thomas
中文翻译：
通过原子层沉积生长的 Sb2Te3 薄膜的快速热退火
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